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德國TEM激光光束指向和位置穩定系統介紹

一、產品概述


激光光斑漂移問題解析


德國TEM研發的激光束自動穩定系統-Aligna和ualigna系統使用2個PSD 2D探測光束指向和位置偏移量,閉環反饋控制快速反射鏡實時

補償光束偏移,反饋精度可達1urad,反饋帶寬>1kHz。系統提供的自學習軟件算法可以適用于任意光路布置方案,并進行快速優化鎖

定,解決了機械振動引起的位置漂移和高功率激光器引起的角度漂移。Aligna系統大幅提高激光加工精度,并提供自動校準光路功能。

目前廣泛應用在太陽能薄膜電池劃線、PCB及柔性屏精密切割、激光精密打孔、半導體晶圓在生產制造過程中的切割、測量、曝光控

制等。 此系統已被Manz、BOSCH、三星、LIS、TRUMPF、TOPTICA Photonics、等公司廣泛應用。

      


二、多光路控制系統   

        快反鏡                              Kangoo控制軟件

系統配置:

? Piezo和Motor嵌套式快速反射鏡

? 4D 位敏探測器(光束位置和角度)

? 多光路控制機箱(包含快反鏡驅動,探測信號處理模塊,PID調節器等)

? 軟件(自學習優化算法,全自動閉環穩定,光束坐標及功率監控)


系統特點:

? 連續波和脈沖激光器:  重復頻率 0.1 Hz- 200 MHz / 連續波 

? 模塊化系統, 單裝置4光束控制 

? 反饋精度:    1 μm,  1 μrad   (最低可達 10-100 nm) 

? 超大掃描范圍:  接近 18° 

? 全波段 (標準: 380- 1100 nm, 定制180 nm- 10 μm, THz),  任意光束直徑 

? 高速度:伺服頻寬超過 5 kHz ,壓電驅動制動器和機械裝置多種組合 

? 全計算機控制 (USB, 串口, 局域網) ,完全獨立操作 

? 外部測量裝置連接件  (功率計, PDs, ...)


三、單光路控制系統

系統配置:

Piezo和Motor嵌套式快速反射鏡

4D 位敏探測器(光束位置和角度)

單光路控制機箱(包含快反鏡驅動,探測信號處理模塊,PID調節器等)

軟件(自學習優化算法,全自動閉環穩定,光束坐標及功率監控)


系統特點:

連續波和脈沖激光器:  重復頻率 15k Hz- 200 MHz / 連續波 

模塊化系統, 單光路光束控制 

反饋精度:    1 μm,   1 μrad   (最低可達 10-100 nm) 

超大掃描范圍:  接近 18° 

全波段 (標準: 380- 1100 nm, 定制180 nm- 10 μm, THz),  任意光束直徑 

高速度:伺服頻寬超過 5 kHz ,壓電驅動制動器和機械裝置多種組合 

全計算機控制 (USB, 串口, 局域網) ,完全獨立操作 

外部測量裝置連接件  (功率計, PDs, ...)
                 

四、產品應用

    


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