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精密定位平臺/掃描臺

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納米平移臺(壓電馬達型,10-1500mm行程)

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納米級精度高速大行程壓電馬達線性平移臺!

所屬類別:位移臺/偏轉鏡/隔振臺 ? 精密定位平臺/掃描臺

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姓名:李工(William)

電話:156 1809 2363(微信同號)

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納米級高速大行程壓電馬達平移臺


XLS系列線性位移平臺,是由超聲波壓電馬達驅動,可提供不同行程的精確定位。由于采用超聲波壓電馬達驅動,速度可達到200mm/s,并且該平臺非常適用于掃描,可提供恒定的掃描速度,速度不穩定性低于2%。

該平臺采用超聲波馬達,對于這種馬達平臺的運動是通過接觸點的橢圓振蕩產生。如下圖所示。通過橢圓的振蕩推動平臺產生微小移動,并通過高頻率產生極高的速度,并且沒有噪聲,電機在定位后可產生自鎖,由于馬達在橢圓振蕩的上端才會與平臺接觸,大大提高平臺的使用壽命通常在10-100km。


XLS系列平臺可提供不同的行程,行程范圍可達到92mm。為了適應不同精度要求的應用,平臺集成不同精度的位置傳感器,根據閉環系統中傳感器的精度可分為以下幾類線性平臺

1)集成-1250位置傳感器的壓電馬達平臺-min setp1250nm,


XLS-1-40

XLS-1-50

XLS-1-60

XLS-1-70

XLS-1-80

XLS-1-100

XLS-1-120

Unit

travel   range

27

32

37

42

50

72

92

mm

resolution

1250

nm

unidirectional   repeatability

±1250

nm

bidirectional   repeatability

±2500

nm

load   capacity

0.5

kg

holding   force

1

N

driving   force

1

N

max.   speed

200

mm/s

min.   speed

2 to 5

mm/s

cable   length

1.5

m

2)集成-312位置傳感器的壓電馬達平臺-min setp350nm


XLS-1-40

XLS-1-50

XLS-1-60

XLS-1-70

XLS-1-80

XLS-1-100

XLS-1-120

Unit

travel   range

27

32

37

42

50

72

92

mm

resolution

350

nm

unidirectional   repeatability

±350

nm

bidirectional   repeatability

±700

nm

load   capacity

0.5

kg

holding   force

1

N

driving   force

1

N

max.   speed

200

mm/s

min.   speed

2 to 5

mm/s

cable   length

1.5

m

3) 集成-78位置傳感器的壓電馬達平臺-min setp80nm


XLS-1-40

XLS-1-50

XLS-1-60

XLS-1-70

XLS-1-80

XLS-1-100

XLS-1-120

Unit

travel   range

27

32

37

42

50

72

92

mm

resolution

80

nm

unidirectional   repeatability

±80

nm

bidirectional   repeatability

±160

nm

load   capacity

0.5

kg

holding   force

1

N

driving   force

1

N

max.   speed

200

mm/s

min.   speed

2 to 5

mm/s

cable   length

1.5

m

4) 集成-1位置傳感器的壓電馬達平臺-min setp25nm


XLS-1-40

XLS-1-50

XLS-1-60

XLS-1-70

XLS-1-80

XLS-1-100

XLS-1-120

Unit

travel   range

27

32

37

42

50

72

92

mm

resolution

25

nm

unidirectional   repeatability

±25

nm

bidirectional   repeatability

±50

nm

load   capacity

0.5

kg

holding   force

1

N

driving   force

1

N

max.   speed

200

mm/s

min.   speed

2 to 5

mm/s

cable   length

1.5

m


此外,由于該平臺采用模塊化設計,可以組成多維位移平臺,例如:XY;XYZ,XYQ等。并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺。


 

主要特點:

l  大行程 (100mm)

l  高精度(25nm)

l  高速度(100mm/s)

l  支持斷電自鎖

l  可在真空和非磁環境

主要應用:

l  光電子學

l  掃描電子顯微鏡

l  半導體生產

l  醫學和材料科學

l  生命科學與生物技術學

l  顯微鏡和計量學

 



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產品標簽:壓電馬達線性平移臺,壓電馬達平移臺,納米級平移臺,大行程壓電平移臺,壓電馬達微動臺,一維壓電馬達平移臺,壓電馬達驅動定位器,壓電超聲馬達,

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