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主動隔振平臺

大負載主動氣浮桌腿型光學平臺隔振器(MAPS series)桌面型/ 桌子型 主動氣浮 隔振光學平臺(ME40 series)光學平臺暗室/潔凈室(XRM/XC、XM series) 顯示全部
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大負載主動氣浮桌腿型光學平臺隔振器(MAPS series)

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MAPS 系列產品—凝縮了最新除振技術的精華, 小巧玲瓏的MAPS 系列能應對全自由度的振動。

所屬類別:位移臺/偏轉鏡/隔振臺 ? 主動隔振平臺

所屬品牌:日本Meiritz公司

產品負責人:

姓名:許工(Gary)

電話:130 2016 6031(微信同號)

郵箱:[email protected]


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產品簡介

明立精機的MAPS 系列產品的除振系統是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅動器而構成的組裝型除振裝置。使用1 4 個的話,對應全自由度的振動,能發揮出優秀的除振性能、制振性能、定位性能等。






產品特點

  1. MAPS 可以消除被動除振的困難頻段的振動

  2. 標準的MAPS 可除振10 噸以上的設備

  3. 搭載工件等移動裝置也不會搖擺

  4. MAPS 具有優秀的精確定位及精密校平性能

  5. MAPS 是小型易操作的組合型系列

  6. MAPS 是構成精密設備的一個重要部分


應用領域

半導體制造,激光加工


主要規格和參數


附注



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